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光譜共焦測量系統(tǒng)

光譜共焦測量系統(tǒng)

通過光學(xué)檢測實(shí)現(xiàn)質(zhì)量控制

單點(diǎn)緊湊型光學(xué)傳感器
半導(dǎo)體和一般微電子領(lǐng)域的晶圓測量
機(jī)械或光學(xué)部件的測量和在線控制
測量和控制玻璃或塑料薄膜的厚度

概述

微信圖片_20211213163619.jpg


我們的新型光譜共焦傳感器可實(shí)現(xiàn)高精度無接觸距離和厚度測量。因此,非常適合用于位置和尺寸確定(如微電子元件)、形貌、輪廓等應(yīng)用,以及粗糙度測量(如工具表面)以及玻璃或塑料涂層的厚度測量。


光譜共焦在狹小空間亦具有很大的靈活性。緊湊的控制器和光學(xué)探頭通過光纖連接。這使得它可以單獨(dú)將光學(xué)探頭與控制器分開。此外,探頭不包含任何影響測量準(zhǔn)確性的移動部件或發(fā)熱電子元件。


由于其緊湊的尺寸和經(jīng)濟(jì)的價(jià)格,光譜共焦是傳統(tǒng)激光三角測量傳感器的理想替代品。

規(guī)格表


VAS 500VAS 4KVAS 10KVIS 600VIS 4KVIS 10K
測量范圍500 μm4 mm10 mm600 μm4 mm10 mm
工作距離 1)12.7±0.5 mm37.5±0.9 mm71.5±3mm6.5 mm37.5 ± 0.9 mm69 ± 1.7 mm
厚度測量范圍 2)最大0.75 mm最大6 mm最大15 mm最大900 μm最大 6mm最大 15mm
軸向分辨率20 nm160 nm400 nm3 nm180 nm400 nm
線性精度170 nm1.6 μm4 μm198 nm1.4 μm4 μm
橫向分辨率2.5 μm8.5 μm16 μm2 μm4 μm16 μm
測量角度 3)90°±45°90°±20°90°±14°90°±30°90°± 20°90°± 14°
重量250 g57g86g71 g162 g209 g

備注:

1) 光學(xué)探頭底部到測試量程中間

2) 折射率 n = 1.5 在透明材料上

3) 大角度偏轉(zhuǎn)時(shí)精度降低

所列數(shù)據(jù)為典型使用環(huán)境下得出,在不同環(huán)境條件下可能不同。

特色

高效性

性價(jià)比高的解決方案

最先進(jìn)的光譜共焦技術(shù)

所有表面的測量

同軸測量,無陰影效應(yīng)


多樣性

易于集成

光學(xué)探頭和控制器獨(dú)立

免維護(hù),耐用

占用空間少


用戶友好&安全

對溫度和污染不敏感

重量輕

低能耗

應(yīng)用

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