測量行程(XY)：420x520 mm-660x700 mm
測量高度(Z)：160-400 mm
適用于PCB電路板，手機(jī)，墊片密封圈，汽車，機(jī)加工，金屬薄片等行業(yè)，可添加探針系統(tǒng)，激光系統(tǒng)，白光系統(tǒng)，旋轉(zhuǎn)夾頭系統(tǒng)，構(gòu)建復(fù)合傳感器測量系統(tǒng)，完成一些特殊尺寸的測量。
使用嶄新的技術(shù)，提供高速度與精確度，建立出可靠以及可信賴的測量系統(tǒng)。
該系統(tǒng)包括InSpec測量軟件，可程式化的光學(xué)變焦，3X的數(shù)碼變焦，非線性平臺補(bǔ)償，非線性光學(xué)補(bǔ)償，先進(jìn)的LED光源系統(tǒng)以及溫度檢測儀。
InSpec測量軟件功能強(qiáng)大：使用鼠標(biāo)就能輕松編寫程序，專有的系統(tǒng)尋邊功能，先進(jìn)的光源控制及校正功能，與復(fù)合傳感器結(jié)合，自動校正，可清晰顯示測量資料及公差。
| 型號 | 測量行程(mm) | 機(jī)臺承重 (kg) | XY軸最大速度(mm/s) | Z軸最大速度(mm/s) | 分辨率 | 承載重量 | 外觀尺寸(mm) |
| Excel 511 | 420x520x160 | 732 | 500 | 500 | 0.05 μm | 100 kg | 1295x1221x1629 |
| Excel 512 | 420x520x250 | 739 | 500 | 500 | 0.05 μm | 100 kg | 1295x1221x1803 |
| Excel 701 | 660x700x160 | 1611 | 500 | 500 | 0.05 μm | 100 kg | 1525x1607x1647 |
| Excel 702 | 660x700x250 | 1613 | 500 | 500 | 0.05 μm | 100 kg | 1525x1607x1819 |
| Excel 704 | 660x700x400 | 1615 | 500 | 500 | 0.05 μm | 100 kg | 1525x1607x2119 |
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