測量行程(XY)：750x900 mm-1600x2560 mm
測量高度(Z)：160-400 mm
適用于航空航天，PCB電路板，機加工，金屬薄片等行業(yè)，可添加探針系統(tǒng)，激光系統(tǒng)，白光系統(tǒng)，旋轉(zhuǎn)夾頭系統(tǒng)，構(gòu)建復(fù)合傳感器測量系統(tǒng)，完成一些特殊尺寸的測量。
使用嶄新的技術(shù)，提供高速度與精確度，建立出可靠以及可信賴的測量系統(tǒng)。
該系統(tǒng)包括InSpec測量軟件，可程式化的光學(xué)變焦，3X的數(shù)碼變焦，非線性平臺補償，非線性光學(xué)補償，先進的LED光源系統(tǒng)以及溫度檢測儀。
InSpec測量軟件功能強大：使用鼠標(biāo)就能輕松編寫程序，專有的系統(tǒng)尋邊功能，先進的光源控制及校正功能，與復(fù)合傳感器結(jié)合，自動校正，可清晰顯示測量資料及公差。
| 型號 | 測量行程(mm) | 機臺重量 (kg) | XY軸最大速度 (mm/s) | Z軸最大速度 (mm/s) | 分辨率 | 承載重量 | 外觀尺寸(mm) |
| Excel 901 | 750x900x160 | 2630 | 500 | 500 | 0.05 μm | 100 kg | 1625x1808x1647 |
| Excel 902 | 750x900x250 | 2644 | 500 | 500 | 0.05 μm | 100 kg | 1625x1808x1819 |
| Excel 904 | 750x900x400 | 2655 | 500 | 500 | 0.05 μm | 100 kg | 1625x1808x2119 |
| Excel 1301 | 1050x1300x160 | 3085 | 500 | 500 | 0.05 μm | 100 kg | 1925x2208x1647 |
| Excel 1302 | 1050x1300x250 | 3096 | 500 | 500 | 0.05 μm | 100 kg | 1925x2208x1819 |
| Excel 1304 | 1050x1300x400 | 3108 | 500 | 500 | 0.05 μm | 100 kg | 1925x2208x2119 |
| Excel 1701 | 1250x1700x160 | 3492 | 500 | 500 | 0.05 μm | 100 kg | 2125x2608x1647 |
| Excel 1702 | 1250x1700x250 | 3504 | 500 | 500 | 0.05 μm | 100 kg | 2125x2608x1819 |
| Excel 1704 | 1250x1700x400 | 3515 | 500 | 500 | 0.05 μm | 100 kg | 2125x2608x2119 |
| Excel 2500 | 1600x2560x160 | 6904 | 500 | 500 | 0.05 μm | 100 kg | 2470x3470x1972 |
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